半导体专用设备

我公司与渤海大学签订了L4811-I-0/RZQ型真空烧结炉供货合同

2011年11月,我公司与渤海大学签订了L4811-I-0/RZQ型真空烧结炉供货合同。

该设备在管式炉的基础上,增加真空系统,获得高洁净腔体,提供清洁无杂质的高真空状态,加热温度均匀且能够精确控制,特别适用于半导体器件或其他对环境要求高的材料的退火工艺,工件质量优良,成品率高。设备的主要特点是:外形美观,占地面积小;采用高精度、多功能温控仪,可自动调节与修改PID参数,存储控温曲线并可随时修改、删除以及重新设定,操作简单方便;具备多项故障显示,报警及连锁保护功能;炉体可以移动推拉,以加速低温段的降温。












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