气氛保护隧道炉

气氛保护隧道炉主要应用于电真空、航空航天、电力电子、机械加工等领域。可对不锈钢、无氧铜、金属化陶瓷件、金属封接件、玻璃封接件等进行无氧化烧结、焊接、退火及对薄膜、厚膜电路、混膜集成电路等在氢气、氮气或氢氮混合气体的保护下,对工件进行烧结、焊接、封装等工艺处理。

立式程控氢气炉系列

本系列设备是用钼丝作为加热元件,钟罩升降式电阻炉,广泛用于在氢气或成型气体中对电子元器件的零部件进行退火、烧结、钎焊和热处理等工艺。技术先进、自动化程度高、结构紧凑、外形美观。

L4513-3扩散炉

扩散炉是半导体生产线前工序的重要工艺设备之一,用于大规模集成电路、分立器件、电力电子、光电器件和光导纤维等行业的扩散、氧化、退火、合金及烧结等工艺。

PE/LP CVD化学气相淀积设备

*对工艺时间、温度、气体流量、阀门动作等实现自动控制。 *具有完善的报警功能及安全互锁装置。 *具有良好的人机界面,灵活的工艺性能。 *具有良好的工艺性能,使用范围广泛。

链(带)式烧结炉

     主要用于半导体器件烧结、封焊、焊接及集成电路金属化管壳等气密性封装,玻璃容器的烧结及各种零件在氢氮保护下进行的热处理。   

铍青铜真空时效炉

铍青铜是一种是以铍为基本合金元素的铜基合金(Be0.2~2.75%wt%),在所有的铍合金中是用途最广的一种,其用量在当今世界已超过铍消费总量的70%。它具有高的强度、硬度和弹性极限,弹性滞后小, 弹性稳定性好, 并且具有耐疲劳、耐腐蚀、耐磨、耐寒、无磁性、高导电导热性、受冲击时不产生火花等优良的综合特性。因此,它作为高强度弹性材料和高导电材料在仪器仪表制造中得到了广泛应用,特别在制作各种电子自动控制装置的弹性元件中更占有重要地位。已经广泛应用于航空航天、电子电器和仪器仪表工业中的弹性元件,有金属材料“弹性之王”的美誉。

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