我公司与中山市秉一电子科技有限公司签订了L4513-2-21/RZQ型扩散炉供货合同

2014年3月，我公司与中山市秉一电子科技有限公司签订了L4513-2-21/RZQ型扩散炉供货合同。

       该设备采用先进的PLC控制及工控机技术、满足特殊环境的可靠性设计要求；多层炉管进行集中管理，每层炉管将检测、控制的各个单元组成离散控制、集中管理、自动检测的计算机系统，包括对每层炉管的进出推舟、炉体炉温及气路控制等部分进行智能化管理，具有生产工艺及流程的控制单元、测试单元、运行监视单元等，配备触摸屏进行独立操作，并可存储、输出用户所需要的各种数据。气源实现气体流量控制，反馈检测等功能，对工艺气体实时检测保护；氢，氧合成配有单独专用控制装置，确保氢，氧合成的安全可靠。设备有着完善的水冷散热系统、废气收集排除系统等。